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白光干涉傳感器
白光干涉传感器
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規格參數
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高精度白光干涉传感器,利用白光干涉原理进行纳米级精密测量,适用于光学检测、表面粗糙度测量等高科技领域。
基本規格
型號
CWL050R040
測量原理
白光干涉
測量範圍
50mm
參考距離
±0.1mm
分辨率
10nm
重複精度
20nm
外形尺寸
φ60*120mm
重量
500g
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